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蝕刻機(jī)和光刻機(jī)一樣重要

發(fā)布時(shí)間:2022-07-18
     了解半導(dǎo)體的人都知道,光刻機(jī)是制造芯片的核心設(shè)備。沒(méi)有它,就很難制造先進(jìn)的芯片。但實(shí)際上,在芯片制造過(guò)程中,另一個(gè)關(guān)鍵設(shè)備“蝕刻機(jī)”也很重要。蝕刻機(jī)在技術(shù)上可能沒(méi)有光刻機(jī)那么難,但也是芯片制造中不可或缺的重要一環(huán),主要體現(xiàn)在它在制造中的投資設(shè)備比例大,工作原理在制造中的不可或缺。

在芯片制造過(guò)程中,光刻機(jī)已經(jīng)完成了自己的工作,所以需要從蝕刻機(jī)開(kāi)始進(jìn)行二次加工,形成一個(gè)完整的芯片制造工藝鏈。可以說(shuō),蝕刻機(jī)是光刻之后必不可少的設(shè)備,也是輔助光刻機(jī)工作的重要環(huán)節(jié)。

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